用于在衬底上无电极电镀铜的稳定无电极铜电镀组合物和方法

摘要

将特定半胱氨酸衍生物添加到无电极铜电镀组合物中以改进所述无电极铜电镀组合物的稳定性，从而使得即使在较低电镀温度和较高稳定剂和较高沥滤催化剂浓度下进行无电极电镀时，所述无电极电镀铜组合物的电镀活性不受损。