公开/公告号CN108120510B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院合肥物质科学研究院;
申请/专利号CN201711295209.5
申请日2017-12-08
分类号G01J5/00(20060101);G01C25/00(20060101);
代理机构34112 安徽合肥华信知识产权代理有限公司;
代理人余成俊
地址 230031 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
入库时间 2022-08-23 11:28:38
机译: 反射镜阵列,用于遥感器的偏振校准
机译: 反射镜阵列,用于遥感器的偏振校准
机译: 用于例如图1中的照明光学装置的固定结构的镜交换阵列。用于执行微光刻的扫描仪,具有设置有高反射涂层的反射镜交换阵列单元的单个反射镜