一种金刚石氮空位色心的量子压力传感器及制备方法

摘要

本发明属于微机电系统(MEMS)的压力检测器件领域，并具体公开了一种金刚石氮空位色心的量子压力传感器及制备方法。所述传感器包括基底层，基底层的底部刻蚀有空腔，基底层的顶部沉积有绝缘层，绝缘层的顶部沉积有具有氮空位色心的金刚石薄膜层，绝缘层的顶部还溅射有两个所述铁氧体，两个铁氧体关于所述金刚石薄膜层对称布置。所述方法包括在所述基底层的顶部沉积一层绝缘层，在基底层的底部刻蚀得到空腔，在绝缘层的顶部沉积一层具有氮空位色心的金刚石薄膜层和两个对称布置的铁氧体。本发明可通过电子的自旋属性去实现对压力的高灵敏度测量，大大提升了压力传感器的灵敏度。