一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置

摘要

一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，属于光学调整及检测技术领域。两个X轴直线电机定子、X轴光栅尺及多个X轴限位组件均安装在花岗岩底座上，两个X轴直线电机线圈各通过一个X轴直线电机线圈座安装在X轴溜板上，X轴溜板滑动设置在花岗岩底座上面，四个Y轴限位组件安装在两个X轴直线电机线圈座上，Y轴光栅尺安装在X轴溜板上面；两个Y轴直线电机线圈各通过一个Y轴直线电机线圈座安装在Y轴溜板，Y轴溜板滑动设置在X轴溜板上面，Z轴精密升降台固定在两个Y轴直线电机线圈座上面，Z轴精密旋转台安装在Z轴精密升降台上面，θ轴三点调平台安装在Z轴精密旋转台上面。本发明用于需要使用超精密多轴调整台的场合。