用于界定设计数据的重复结构中的关注区域的系统及方法

摘要

本发明揭示一种方法，其包含：识别具有第一敏感度阈值的第一关注区域的第一集合，所述第一关注区域与设计数据中的重复单元块内的第一受关注设计相关联；识别具有额外敏感度阈值的额外关注区域的额外集合，所述额外关注区域与设计数据中的重复单元块内的额外受关注设计相关联；基于所述第一敏感度阈值识别样本的选定区域的一或多个图像中的第一关注区域的所述第一集合内的一或多个缺陷；及基于所述额外敏感度阈值识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的所述额外关注区域的所述额外集合内的一或多个缺陷。