基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法

摘要

本发明公开了基于化学腐蚀的光学玻璃亚表面损伤深度测量方法，该方法首先将光学玻璃放入腐蚀性液体中腐蚀一个时间段后，取出超声清洗烘干后，采用激光共聚焦显微镜检测腐蚀表面的表面粗糙度和单位面积内的表面积，分别绘制表面粗糙度和单位面积表面积随腐蚀时间变化的曲线；将表面粗糙度变化曲线中表面粗糙度最大值作为光学玻璃亚表面裂纹深度；将单位面积内表面积变化曲线趋于稳定的时刻作为腐蚀到亚表面损伤层整体深度的时间，利用该时间腐蚀相同试样表面，测量腐蚀台阶高度作为亚表面损伤层整体深度，最终得到残余应力层深度。本发明利用激光共聚焦技术检测单位面积内表面积和表面粗糙度随腐蚀时间变化的曲线，一次腐蚀循环即可测得光学玻璃亚表面的裂纹层深度、损伤层整体深度和残余应力层深度，提高检测效率。