一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷/金属/金属陶瓷双向纳米梯度材料及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：S1：将基片设置于PVD设备转架上，控制靶材工作面与基片正对，且两者的距离为7~20 cm；S2：控制靶材电流密度为150~300 A，基体偏压为0~‑50V，沉积时间3~30 h，氮气压力按六阶段控制，依次沉积即得所纳米梯度材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材等核心工艺参数，使得基体负变压作用，实现了纳米梯度材料的制备；该纳米梯度材料从表层到心部硬度和应力呈现梯度变化规律特征，表层具有高硬度和耐磨性，心部具有优良的韧性，该材料具有优异的断裂韧性、承载能力及摩擦磨损性能。