异质结敏感器件、其制备方法和含该敏感器件的气体传感器

摘要

本发明公开了一种异质结敏感器件、其制备方法和含该敏感器件的气体传感器，属于半导体器件与传感技术领域。其制备方法包括三个步骤：将碳纳米管和氧化石墨烯依次在磁性亚微米球表面进行可控包覆，形成异质结；在滴样过程中利用磁场操控上述三维磁性碳纳米管/还原氧化石墨烯异质结在电极之间形成定向排布的链状多导通通道；氧化石墨烯还原处理，完成气体传感器件构筑。与现有技术相比，本发明利用原位形成碳基异质结和磁场操控技术可有效解决气敏传感器构筑过程中敏感纳米材料器件灵敏度低、敏感材料均匀性差、同批次器件性能稳定性差等问题，构筑方法简单、高效，适于规模化生产。