基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法

摘要

本发明公开了一种基于非均匀傅里叶变换的平行平板光学均匀性的测量方法，首先通过在菲索型波长移相干涉仪中，分别移相采样放置待测平行平板和空腔下的干涉图；其次，对干涉图各点的干涉光强数据，采用基于快速高斯网格法(FGG)的非均匀傅里叶变换，转化至频域进行频谱分析；最后，提取不同干涉腔长下对应的频率分量进行逆傅里叶变换获得干涉图的相位信息，将其恢复为波面信息后，计算得到待测平行平板的光学均匀性。本发明采用非均匀傅里叶变换频谱分析法，降低了波长移相时的非线性误差引起的测量误差，操作简单，步骤少，可用于大口径光学材料光学均匀性的高精度测量。