八苯基取代笼形倍半硅氧烷衍生物分子玻璃及其应用

摘要

本发明公开了一种八苯基取代笼形倍半硅氧烷衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：其中，取代基R₁～R₂₄分别为氢原子、羟基或酸敏感性取代基；取代基R₁～R₂₄可相同或不同，但同一苯环上的三个取代基不能同时为氢原子。本发明还公开了该八苯基取代笼形倍半硅氧烷衍生物分子玻璃的应用。该分子玻璃可作为光刻胶主体材料制成薄膜，并可用于光刻。