利用空间载频电子散斑干涉测量物体三维变形的方法

摘要

本发明提供了一种利用空间载频电子散斑干涉测量物体三维变形的方法。该方法为：用水平方向、竖直方向及垂直物体表面的三路相干光分别照明物体，在水平和竖直方向通过控制反射镜的偏转引入载波，实现位移场干涉条纹的调制；通过物体的偏转实现离面位移场干涉条纹的调制；采用傅里叶变换法，分别解调出各变形场的相位，实现物体三维变形场的测量。本发明将载频调制技术引入到三维电子散斑干涉中，结合傅里叶变换法，实现了相位的解调，实现了三维测量。本发明的三维位移场测量方法灵敏度高、测量精度高，可同时获得全场三维位移，是一种非接触的测量方法，可以使测量精度提高到二十分之一个波长。