具有自检功能的石英振梁加速度计及其制作与自检方法

摘要

本发明公开了一种具有自检功能的石英振梁加速度计及其制作与自检方法，其中，加速度计包括石英振梁、质量‑挠性结构和安装框，其中，质量‑挠性结构包括活动连接的质量块和底座，质量块的上方和/或下方设极板，该极板的两端与安装框连接，极板中部与质量块之间存在间距，同时，极板中部和质量块相对的各自表面设有导电薄膜。本发明的加速度计增加了自检功能，能够及时发现加速度计的缺陷和故障，从而大大提高石英振梁加速度计的可靠性；同时本发明制作工艺在成本、体积、功耗、精度等方面都具有不可比拟的优点，可广泛应用于高精度惯性导航和军工领域。