起模销组合件及具有起模销组合件的衬底处理设备

摘要

本申请案涉及一种起模销组合件及一种具有所述起模销组合件的衬底处理设备。提供起模销组合件及衬底处理设备。所述起模销组合件包含：第一起模销，其至少一个部分支撑衬底的底部表面，所述第一起模销是可升高的；及第二起模销，其经配置以导引所述第一起模销，所述第二起模销通过衬底支撑件升高。