光学元件的评价值计算方法、评价值计算装置以及记录介质

摘要

光学元件的评价值计算方法包含如下步骤：针对光学元件的被检面取得作为与设计值之间的偏差的形状误差；针对各位置(i)而取出、所取得的形状误差中的被包含在如下范围内的值中的权重函数的成分，该范围是以光学元件的各位置(i)为中心且半径(u)的2倍的范围，该半径(u)比有效半径小；以及根据所取出的各位置(i)的权重函数的成分来计算评价值。