用于芯片硅生产工序中的清洗机及其使用方法

摘要

本发明公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机，包括用于放置芯片硅的清洗板、固定所述清洗板的支撑架以及用于向清洗板上、下两侧喷洒清洗液的清洗机构，所述清洗板为矩形板状，且清洗板上设有两排与芯片硅形状相同的放置孔,清洗板的长度方向两侧均开设有安装孔，每个安装孔内均对称设置两个双向电动推杆，清洗板的相对两侧均平行设置两根边杆，每根边杆靠近清洗板的一侧均固定若干块挡板，每块挡板的末端均活动伸入相邻一排的放置孔内，位于上方的双向电动推杆的两个伸缩端分别与上方的两块挡板连接。本发明还公开了用于芯片硅生产工序中的清洗机的使用方法。本发明人工放置好芯片硅后，自动清洗芯片硅两侧，效果好，清洗液回收循环利用。