膜厚度测量方法及膜厚度测量装置

摘要

公开了一种膜厚度测量方法及膜厚度测量装置。使估计信号的信号波形与反射光强度信号的信号波形彼此协调，使得估计信号的信号波形中的当膜厚度等于零时的时间点与反射光强度信号的信号波形中的基点彼此一致。将与反射光的信号强度的估计值对应的膜厚度设置为薄膜在期望时间点处的膜厚度，所述反射光的信号强度与估计信号的信号波形中的对应于时间范围的膜厚度范围对应并且与反射光在期望时间点处的信号强度一致。