一种基于迈斯纳效应的超导薄膜力学特性测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于迈斯纳效应的超导薄膜力学特性测量装置及方法，涉及超导薄膜力学特性测试技术领域。该测量装置包括平台主体、受力传感器组件、磁铁位置调节系统和样品限位系统。受力传感器组件被设置在样品台主体上，待测样品被置于受力传感器组件上，磁铁位置调节系统和样品限位系统均被设置在样品台主体上。应用该测量装置的方法主要包括八个步骤。使用该装置可以直接对厚度为纳米级别、甚至达到单原子层厚度的超导薄膜样品的力学特性进行测量，并且利用压电陶瓷传感器替代传统的机械传感器，将力学量转变为电学量进行测量，简化了实验操作，提高了实验效率和力学测量的精度，提高了实验结果的准确性。