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公开/公告号CN104969328B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 弗赖贝格化合物原料有限公司;
申请/专利号CN201480004737.9
发明设计人 W·弗利格尔;C·克莱门特;C·维劳尔;M·舍费尔奇甘;A·克莱茵韦希特;S·艾希勒;B·韦纳特;M·梅德尔;
申请日2014-02-12
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人邹智弘
地址 德国弗赖贝格
入库时间 2022-08-23 11:04:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-10
授权
2016-03-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20140212
实质审查的生效
2015-10-07
公开
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