一种提高BiFeO₃薄膜磁电耦合效应的退火方法

摘要

本发明公开了一种提高BiFeO₃薄膜磁电耦合效应的退火方法。以化学溶液沉积法结合层层退火工艺，以ITO/glass为基体制备BiFeO₃薄膜，薄膜的奇数层采用低温退火，偶数层采用高温退火。利用高低温退火相结合的方式一方面可以保证偶数层可以形成较大的晶粒，增强铁电性能，另外一方面可以保证奇数层的晶粒粒径小于62nm，有利用薄膜磁性的提高。利用这种退火方式提高了BiFeO₃薄膜的磁电耦合效应。