一种利用激光对硅棒进行打码标识的方法及设备

摘要

本发明公开了一种利用激光对硅棒进行打码标识的方法及设备，所述设备包括：标记系统，用于设置打标参数，并将硅棒数字编码生成刻线编码；激光器，用于提供激光光束；电气控制部，用于控制激光光束的输出方式；准直镜，用于将激光器发出的激光光束准直成平行激光光束；扩束镜，反向安装，用于缩小准直后的平行激光光束，增大激光光斑；光学聚焦镜，用于将经反向安装的所述扩束镜缩小后的激光光束，均匀聚焦至待打码的硅棒表面；以及工作平台，用于带动硅棒移动进行激光光束定位，对硅棒进行打码标识。本发明可以实现硅片独立编码，能够有效提高编码效率和减少污染，极大地拓展了激光加工的应用领域和范围。