预渗透剂组合物、预渗透剂、镀铜预处理方法和无氰镀铜方法

摘要

本发明涉及一种预渗透剂组合物、预渗透剂、镀铜预处理方法和无氰镀铜方法，该预渗透剂组合物包括第一络合剂、第二络合剂和第三络合剂；其中，所述第一络合剂为丁二酸盐，所述第二络合剂选自酒石酸盐和葡萄糖酸盐中的至少一种，所述第三络合剂选自乙二胺和甘油中的至少一种；所述第一络合剂、所述第二络合剂和所述第三络合剂的重量体积比为(15～30)g:(10～35)g:(1～4.5)mL。本发明采用预渗透剂组合物进行浸泡预处理，使络合剂渗透到工件表面的孔隙和裂纹中，从而在后续的无氰镀铜过程中能够很好地络合铜离子，在待镀工件表面肉眼不可见的细小的气泡、裂纹、针孔等缺陷中覆盖铜镀层，可以解决由于工件表面孔隙引起的起泡问题，提高无氰镀铜层与合金基体的结合力。