一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法

摘要

本发明实施例提供了一种调焦装置、光刻机及调焦装置的调焦方法，通过在光路上依次设置照明光源、照明单元、投影单元和光电探测单元；投影单元包括至少一个投影光栅；光电探测单元包括至少一个探测光栅对和至少两个光电探测器，探测光栅对与投影光栅一一对应设置，探测光栅对包括两个错位放置的子探测光栅，子探测光栅与光电探测器一一对应设置。本发明提供的技术方案，通过采用投影光栅产生多个光栅周期的投影光栅像，减小了工艺适应性对测量误差的影响，并且通过光电探测器获取经过与其对应的子探测光栅的探测信号，根据探测信号获取电压差分信号，避免了扫描反射镜导致的测量误差，提高了测量离焦量准确度。