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原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜探针、原子力显微镜及探针的制备方法。原子力显微镜探针包括探针本体和设置在探针本体的针尖一侧的接触体,接触体具有连接段和接触段,接触段具有接触端面;接触段为二维材料,且接触端面为原子级光滑且平整的单晶界面。本发明的原子力显微镜探针可精确地检测受测样品的各种性质。

著录项

  • 公开/公告号CN108845161B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-05-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳清力技术有限公司;

    申请/专利号CN201810233689.0

  • 发明设计人 宋一鸣;马明;郑泉水;

    申请日2018-03-21

  • 分类号

  • 代理机构北京中政联科专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人陈超

  • 地址 518118 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰景中路16号国富文化创意产业厂区厂房A601

  • 入库时间 2022-08-23 10:58:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-12

    授权

    授权

  • 2020-04-14

    专利申请权的转移 IPC(主分类):G01Q60/24 登记生效日:20200325 变更前: 变更后: 申请日:20180321

    专利申请权、专利权的转移

  • 2018-12-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/24 申请日:20180321

    实质审查的生效

  • 2018-11-20

    公开

    公开

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