激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法

摘要

激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法，采用标准光栅试件，用LSCM扫描云纹方法得到扫描云纹图像，再通过云纹相移技术对原始图像进行四步相移处理得到相移云纹图像，根据云纹相移理论由相移得到的云纹图得出相位图，解包裹后得到原始相位图，根据相位和位移场的关系得到扫描畸变场，从而达到校正的目的。本发明同现有方法作比较，有如下显而易见的突出特点和显著优点：本发明通过扫描云纹和云纹相移技术，将扫描控制单元的畸变现象引起的扫描线的畸变场直接测量出来。具有精度高、操作简单、实时测量且可进行全场测试等特点。