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基于对统计指标的同时分析制造部件的方法

摘要

本发明涉及基于对多个表示部件的特征尺寸的不同的统计指标的同时分析来制造所述部件的过程,其中,限定了总验证集、总制裁集和总控制集,所述总验证集对应于每个统计指标的不同验证集的集合的组合,所述总制裁集对应于每个统计指标的不同制裁集的集合的组合,所述总控制集对应于每个统计指标的不同控制集的集合的组合;根据所述总验证集、所述总制裁集和所述总控制集,确定包含所测量的特征尺寸的平均值μ

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-04-17

    授权

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  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/418 申请日:20151204

    实质审查的生效

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/418 申请日:20151204

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

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  • 2017-08-29

    公开

    公开

  • 2017-08-29

    公开

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