烷基铝溶液、烷基铝水解组合物溶液、铝氧化物膜涂布形成用组合物、具有铝氧化物膜的物品

摘要

公开了氧化铝薄膜的制造方法。(1)溶液，其含有烷基铝化合物或其部分水解物、和通式(4)的环状酰胺化合物。(2)方法，将含通式(6)所示的有机铝化合物的部分水解物的组合物在惰性气体氛围下涂布于基材表面上并进行加热。(3)方法，将前述通式(6)所示的有机铝化合物或其部分水解物的有机溶剂溶液进行喷雾涂布从而形成涂布膜，加热从而形成铝氧化物膜。(4)方法，将含有烷基铝化合物、和具有供电子性且不含活性氢原子的有机溶剂的溶液涂布于基材上，对所形成的涂膜进行加热，从而得到氧化铝薄膜。(5)包含前述溶液的钝化膜形成剂、使用其制造具有钝化膜的硅基材的方法。具有钝化膜的硅基板和太阳能电池元件。