法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-07
授权
授权
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B 13/00 申请日:20181022
实质审查的生效
2019-05-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01B 13/00 申请日:20181022
实质审查的生效
2019-04-19
公开
公开
2019-04-19
公开
公开
2019-04-19
公开
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机译: 光刻设备,一种设备制造方法以及一种将图案施加到基质上的方法,该方法能够将图案转移到图案形成设备上的基质上
机译: 通过收集曝光量,焦点状态和在第一主体上形成的图案形状之间的关系,获取通过在第二主体上形成的抗蚀剂信息并将其转移到第二主体上,从而通过投射光学系统将原始板上的图案曝光到通过光学系统投射到身体上的图案由关系和信息,数据库确定的数量和焦点状态,以及使用该方法的设备制备方法
机译: 一种使用激光干涉光刻技术在大面积上形成精细图案的方法,通过该方法形成的精细图案的非平面转移的方法以及通过转移方法转移了精细图案的物品