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一种测量纳米结构表面电荷分布的方法

摘要

本发明公开了一种观测纳米结构表面电荷分布的方法,包括以下步骤:S1,提供一待测样品,该待观测样品设置于一绝缘基底表面;S2,在该待测样品的表面及周边形成一层带电纳米微粒;S3,向该待测样品表面通入蒸气;以及S4,利用光学显微镜观测所述带电纳米微粒在所述待测样品周边的分布情况,判断所述待测样品的表面电荷分布。利用本发明提供的方法可以更加高效、简便、低成本的获得纳米结构表面电荷分布情况。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-01-03

    授权

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  • 2017-12-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/00 申请日:20160520

    实质审查的生效

  • 2017-12-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/00 申请日:20160520

    实质审查的生效

  • 2017-11-28

    公开

    公开

  • 2017-11-28

    公开

    公开

  • 2017-11-28

    公开

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