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感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件

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摘要

本发明提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。

著录项

公开/公告号CN104122755B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-24

原文格式PDF
申请/专利权人日立化成株式会社;
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申请/专利号CN201410168433.8
发明设计人笹原直树;向郁夫;佐藤真弓;濑里泰洋;安部攻治;桐生真奈美;
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申请日2014-04-24
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人白丽
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 10:47:08

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-12-24

授权

授权
2016-01-20

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/11 申请日:20140424

实质审查的生效
2016-01-20

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20140424

实质审查的生效
2014-10-29

公开

公开
2014-10-29

公开

公开

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