有效预测压电薄膜与梯度非均匀基底界面应力分布的方法

摘要

本发明涉及一种有效预测压电薄膜与非均匀基底间界面应力分布的方法，首先利用实验测量梯度非均匀基底的几何和材料参数，获得压电薄膜的电弹参数，利用力学模型获得薄膜/非均匀基底系统接触力学问题的控制方程，利用边界配置法求解控制方程，即可得到薄膜/非均匀基底系统界面应力分布的信息，为薄膜/非均匀基底系统界面的优化设计以及基底梯度特性设计提供有效依据。