公开/公告号CN105074572B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201480010168.9
申请日2014-03-13
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:44:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-26
授权
授权
2016-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/16 申请日:20140313
实质审查的生效
2016-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20140313
实质审查的生效
2015-11-18
公开
公开
2015-11-18
公开
公开
机译: 气相沉积沉积的光刻胶及其制造和光刻系统
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