公开/公告号CN106663596B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-22
原文格式PDF
申请/专利权人 埃皮根股份有限公司;
申请/专利号CN201580041512.5
申请日2015-07-22
分类号
代理机构成都超凡明远知识产权代理有限公司;
代理人魏彦
地址 比利时哈瑟尔特
入库时间 2022-08-23 10:44:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
授权
授权
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20150722
实质审查的生效
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20150722
实质审查的生效
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
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