法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 49/02 授权公告日:20071107 终止日期:20101224 申请日:20041224
专利权的终止
2007-11-07
授权
授权
2005-11-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-09-07
公开
公开
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种通孔倒角或泄漏,以及至少一种拐角短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中获得了这些测量值使用带束偏转的带电粒子束检查器从具有相应的尖端到尖端短,通孔倒角短和拐角短测试区域的单元中进行位移
机译: 含有热结合的氨基甲酸酯/脲基团的非离子泳泳交联分散体
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段