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邹旭东; 熊兴崟; 汪政; 王坤锋; 杨伍昊; 李志天;
传感技术国家重点实验室 中国科学院空天信息创新研究院 北京100190;
齐鲁空天信息研究院 济南250132;
MEMS加速度计; 谐振式加速度计; 圆片级真空封装; 低噪声加速度计;
机译:利用单晶压电材料开发高灵敏度,低噪声的加速度计
机译:具有高分辨率和低噪声水平的电容式加速度计。 微酰烯技术制造
机译:使用高灵敏度,低噪声硅光电二极管和双衰减器技术校准单光子检测器时在低于100 fW的光功率水平下进行比较
机译:平面内高灵敏度,低噪声微G硅加速度计
机译:高灵敏度,低噪声,多轴电容式微加速度计。
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:面内高灵敏度,低噪声微g硅加速度计
机译:开发用于焦平面阵列红外传感器系统的超低噪声,高灵敏度平面金属光栅耦合III-V多量子阱红外探测器
机译:具有附加后腔的硅冷凝器麦克风及其制造方法,其能够降低噪声并提高灵敏度
机译:非谐振式两光子吸收材料和非谐振式两光子发射材料,以及使用相同方法的非谐振式两光子吸收诱发方法和非谐振式两光子发射方法
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