法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
授权
授权
2016-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F17/50 申请日:20150107
实质审查的生效
2016-08-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20150107
实质审查的生效
2015-07-15
公开
公开
2015-07-15
公开
公开
机译: 使用自对准双图案化工艺对晶圆进行图案化的方法
机译: 使用自对准双图案化工艺对晶圆进行图案化的方法
机译: 使用自对准双图案化方法形成焊盘图案的方法,使用该方法形成的焊盘图案布局以及使用自对准双图案化方法形成接触孔的方法