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一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器

摘要

本发明涉及一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器,所述声表面波电流传感器包括:压电基片、设置于压电基片上的第一延迟线及第二延迟线、相移器、放大器、混频器及设置于第二延迟线的叉指换能器之间的磁致伸缩合金薄膜。其中,该声表面波电流传感器还包括覆盖于压电基片表面的SiO2薄膜。本发明通过采用一种平行同向设置的双延迟线型结构,具有较高的检测灵敏度、良好的温度稳定性及易实施性,有效地解决了目前电流传感器存在的检测灵敏度低、检测精度低、稳定性差及不易实施的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN107015048B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院声学研究所;

    申请/专利号CN201710267466.1

  • 发明设计人 王文;贾雅娜;

    申请日2017-04-21

  • 分类号G01R19/00(20060101);

  • 代理机构11309 北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人陈霁

  • 地址 100190 北京市海淀区北四环西路21号

  • 入库时间 2022-08-23 10:38:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-30

    授权

    授权

  • 2017-08-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R19/00 申请日:20170421

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 19/00 申请日:20170421

    实质审查的生效

  • 2017-08-04

    公开

    公开

  • 2017-08-04

    公开

    公开

  • 2017-08-04

    公开

    公开

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