公开/公告号CN106384723B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201610970963.3
发明设计人 徐冬;
申请日2016-10-28
分类号H01L21/67(20060101);G05D23/19(20060101);
代理机构31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陶金龙;张磊
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 10:38:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
授权
授权
2018-02-27
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/67 变更前: 变更后: 申请日:20161028
著录事项变更
2018-02-27
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L21/67 登记生效日:20180206 变更前: 变更后: 申请日:20161028
专利申请权、专利权的转移
2018-02-27
著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更前: 变更后: 申请日:20161028
著录事项变更
2018-02-27
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20180206 变更前: 变更后: 申请日:20161028
专利申请权、专利权的转移
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20161028
实质审查的生效
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161028
实质审查的生效
2017-03-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161028
实质审查的生效
2017-02-08
公开
公开
2017-02-08
公开
公开
2017-02-08
公开
公开
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