一种高灵敏度单色激发多元素X射线荧光光谱仪

摘要

本发明实施例公开了一种高灵敏度单色激发多元素X射线荧光光谱仪，其中，包括X射线发生器、探测器和等焦距设置的2个或2个以上双曲面弯晶，所述X射线发生器发射的X光经2个或2个以上双曲面弯晶晶体聚焦后得到2个或2个以上不同能量的单色X射线，所述2个或2个以上不同能量的X射线入射于待测样品，然后用探测器检测。本发明采用2个或2个以上双曲面弯晶得到2个或2个以上能量的单色X射线入射样品，采用高分辨率高效率的SDD探测器得到高分辨率能谱，元素检出限相对很低，实现了全元素(Na以上)高精度分析。