一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置及方法

摘要

本发明属于滚转角的光电测量领域，具体为一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置，包括单频稳频激光器、消偏振分光棱镜、偏振分光棱镜和直角棱镜；消偏振分光棱镜的透射光轴和反射光轴上分别依次设置有声光调制器和反射镜；偏振分光棱镜的第二出射面依次设置有四分之一波片、二分之一波片和反射器，反射器的反射光轴上还设置有检偏器，检偏器的出射方向设置有第一光电探测器和第二光电探测器；第一光电探测器和第二光电探测器均与相位差探测器件连接，相位差探测器件连接有计算机。本发明测量装置中两测量光由同一滚转产生的相移相反，提高了测量分辨率，并且两光束的光程差小，受环境因素影响小，测量结果准确。