法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-30
授权
授权
2018-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/00 申请日:20180209
实质审查的生效
2018-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/00 申请日:20180209
实质审查的生效
2018-07-13
公开
公开
2018-07-13
公开
公开
2018-07-13
公开
公开
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机译: 相位解调器,相位差检测器以及使用该相位差检测器的干涉仪系统
机译: 相位解调器,相位差检测器以及使用该相位差检测器的干涉仪系统
机译: 使用低相干光学干涉技术确定用于激光处理的机器中的至少一个光学元件的局部位置的方法和系统,使用低相干光学干涉技术