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铜或铜合金的腐蚀剂及腐蚀方法

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摘要

本发明提供一种铜或铜合金的腐蚀剂，由含有羟胺、氧化剂、铵盐和唑化合物的水溶液组成。可以在温和的条件下使铜表面变得平滑。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-07-24

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/34 授权公告日:20070704 终止日期:20120603 申请日:20020603

专利权的终止
2007-07-04

授权

授权
2004-08-18

实质审查的生效

实质审查的生效
2003-01-08

公开

公开

1. 铜或铜合金的腐蚀剂及腐蚀方法 [P] . 中国专利： CN1324164C . 2007.07.04
2. 一种低铍铜合金金相腐蚀剂及低铍铜合金金相组织的显示方法 [P] . 中国专利： CN103575585B . 2016.08.31
3. ETCHANT FOR SELECTIVELY ETCHING COPPER AND COPPER ALLOY, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE USING SAID ETCHANT [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020105605A1 . 2020-05-28

机译：用于选择性腐蚀铜和铜合金的腐蚀剂，以及使用所述腐蚀剂制造半导体基质的方法
4. A PROCESS FOR PREPARATION OF POLYMERIC N- ACRYLAMIDO TRIAZOLE COMPOUNDS AND THE USE THEREOF AS ANTI TARNISHING AGENTS AND CORROSION INHIBITORS OF COPPER AND COPPER ALLOYS [P] . IN295594B . 2018-04-13

机译：聚合N-丙烯酰胺基三唑化合物的制备方法及其在铜和铜合金中作为抗腐蚀剂和缓蚀剂的用途
5. A PROCESS FOR PREPARATION OF POLYMERIC N-ACRYLAMIDO TRIAZOLE COMPOUNDS AND THE USE THEREOF AS ANTI TARNISHING AGENTS AND CORROSION INHIBITORS OF COPPER AND COPPER ALLOYS [P] . IN2012DE03445A . 2014-08-15

机译：聚合N-丙烯酰胺基三唑化合物的制备方法及其在铜和铜合金中作为抗腐蚀剂和缓蚀剂的用途