胺取代的三甲硅烷基胺和三-二甲硅烷基胺化合物

摘要

本发明描述了不含卤素的被胺取代的三甲硅烷基胺和三‑二甲硅烷基胺化合物以及它们的制备方法，其中相应未取代的三甲硅烷基胺和胺在过渡金属催化剂的催化下进行脱氢偶联反应。这种新方法是基于Si‑H和N‑H结构部分的催化脱氢偶联以形成含Si‑N的化合物和氢气。此方法可以用过渡金属多相催化剂催化，例如负载在碳上的Ru(0)、负载在MgO上的Pd(0)，以及用作均相催化剂的过渡金属有机金属络合物。含‑Si‑N的产物是不含卤素的。这些化合物可以用于通过化学气相沉积方法沉积薄膜，或通过原子层沉积方法沉积含Si膜。