公开/公告号CN103712608B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州市德普仪器技术有限公司;
申请/专利号CN201310654354.3
发明设计人 徐建刚;
申请日2013-12-06
分类号
代理机构
代理人
地址 215128 江苏省苏州市吴中经济开发区城南街道迎春南路112号1幢201室
入库时间 2022-08-23 10:31:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-23
授权
授权
2016-12-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C15/00 申请日:20131206
实质审查的生效
2016-12-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 15/00 申请日:20131206
实质审查的生效
2014-04-09
公开
公开
2014-04-09
公开
公开
机译: 标线片组,标线片组的设计方法,曝光监视方法,标线片组的检查方法和半导体器件的制造方法
机译: 标线片组,标线片组的设计方法,曝光监视方法,标线片组的检查方法和半导体器件的制造方法
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