法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-19
授权
授权
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J9/00 申请日:20160115
实质审查的生效
2016-07-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 9/00 申请日:20160115
实质审查的生效
2016-06-08
公开
公开
2016-06-08
公开
公开
机译: 相位测量装置,偏斜测量装置,相位测量方法和偏斜测量方法
机译: 相位测量装置,相位测量程序和相位测量方法
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