法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-26
授权
授权
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/06 申请日:20160205
实质审查的生效
2016-08-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 49/06 申请日:20160205
实质审查的生效
2016-07-20
公开
公开
2016-07-20
公开
公开
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备
机译: 离子透镜可针对性地提供聚焦离子或离子束和电子束,尤其是用于离子微探针装置
机译: 用于向电子倍增管馈入电压跃变的质谱仪包括真空室中的离子源,该离子源通过电子轰击使测试分子电离,离子透镜形成会聚束。