一种基于COMSOL软件的声表面波温度传感器谐振腔体设计方法

摘要

本发明提供一种基于COMSOL软件的声表面波温度传感器谐振腔体设计方法，该方法包括如下步骤：步骤1，根据谐振腔体的结构参数建立谐振腔体的3D仿真模型；步骤2，对所述3D仿真模型赋予材料特性；步骤3，对所述3D仿真模型进行网格划分；步骤4，计算所述3D仿真模型在谐振频率理论值附近区域内的频率‑振动位移曲线；步骤5，判断所述频率‑振动位移响应曲线是否符合需求，符合需求时，将该3D仿真模型对应的结构参数和材料特性参数作为谐振腔体的设计参数；否则，改变所述3D仿真模型的结构参数和/或材料特性，跳转至步骤3。本发明提供的技术方案仿真效果好，可实现谐振腔体的快速建模，快速获得符合要求的谐振腔体结构参数和材料参数。