用于电子束、深UV和极UV光刻胶的具有有机共配体的金属过氧化合物

摘要

公开了一种具有式(3)结构的组合物：[C']_k[Ta(O₂)_x(L')_y](3)，其中，x为1至4的整数，y为1至4的整数，Ta(O₂)_x(L')_y具有0至‑3的电荷，C'为具有+1至+3的电荷的反离子，k为0至3的整数，L'为具有0至‑4的电荷的氧化稳定有机配体，并且L'包含选自由羧化物、醇化物、胺、氧化胺、膦、氧化膦、氧化胂及其组合构成的组的供电子官能团。该组合物具有作为高分辨率光刻胶的用途。