一种SiO2/TiO2减反射膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种SiO₂/TiO₂减反射膜的制备方法，该方法先利用溶胶‑凝胶碱催化法和浸渍提拉法制备一层SiO₂低折射率减反射膜，再将薄膜浸入钛酸丁酯前驱液中，最后置于去离子水中水解，从而将TiO₂纳米材料直接引入SiO₂减反射膜中。本发明的制备方法工艺简单、可操作性强、反应速度快，制得的减反射膜是将TiO₂纳米材料直接引入SiO₂薄膜结构中，该减反射膜相比于现有的SiO₂/TiO₂减反射膜，其透光率高，具有良好的耐磨性，并且可实现折射率的连续可调。