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晶片检查装置的维修用台车和晶片检查装置的维修方法

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本发明提供一种能够容易地抽出测试头的晶片检查装置的维修用台车。晶片检查装置(10)具有多个室(11)配置成4层而成的室站(12)，各个室(11)收纳测试头(15)，在室站(12)的外侧配置维修用台车(27)，该维修用台车(27)包括：具有多个滚轮(28)而能够移动的台车基部(29)；收纳测试头(15)的测试头壳体(31)；从台车基部(29)竖立设置，使测试头壳体(31)升降的升降机构(30)；和水平位置调整机构(35)，其介于升降机构(30)的升降机(34)与测试头壳体(31)之间，使测试头壳体(31)相对于升降机(34)水平移动。

著录项

公开/公告号CN104569775B

专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-05

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;日邦精密株式会社;
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申请/专利号CN201410589928.8
发明设计人萩原顺一;小松茂和;古屋邦浩;保坂忠良;村松直树;
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申请日2014-10-28
分类号G01R31/26(20140101);G01R31/28(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:24:42

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-07-30

专利权的转移 IPC(主分类):G01R 31/26 登记生效日:20190710 变更前: 变更后: 变更前:

专利申请权、专利权的转移
2019-02-05

授权

授权
2019-02-05

授权

授权
2016-01-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20141028

实质审查的生效
2016-01-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/26 申请日:20141028

实质审查的生效
2016-01-27

实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/26 申请日:20141028

实质审查的生效
2015-04-29

公开

公开
2015-04-29

公开

公开
2015-04-29

公开

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