法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
授权
授权
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/34 申请日:20140417
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/34 申请日:20140417
实质审查的生效
2016-11-23
公开
公开
2016-11-23
公开
公开
机译: PVD阵列涂层机中PVD边缘均匀性的改进
机译: PVD阵列镀膜机的PVD边缘均匀性改进
机译: PVD阵列镀膜机的边缘均匀性改进